Конуси іонного пучка

Конуси іонного променя SIKAIDA є основними компонентами систем імплантації та передачі іонного променя. Виготовлені з передових керамічних матеріалів високої чистоти та оброблені за допомогою точного лиття під тиском і високотемпературного спікання, вони відрізняються надзвичайно низьким вмістом домішок, високотемпературною стійкістю та стабільною точністю розмірів. Їх можна обробити у складні геометрії, щоб відповідати надзвичайно високим вимогам допуску, що робить їх придатними для високоефективних процесів іонної імплантації напівпровідників.

Як професійний виробник у Китаї, SIKAIDA надає клієнтам по всьому світу надійні, економічно ефективні конуси іонних променів, які можна налаштувати, у сферах напівпровідників, плоских дисплеїв, оптики, мікроелектромеханічних систем (MEMS) і сонячної енергії. SIKAIDA є надійним довгостроковим постачальником і спеціалізованим виробничим підприємством високоякісних компонентів іонно-променевого процесу.

Матеріали та виготовлення

1. Матеріали

Іонно-променеві конуси використовують такі матеріали, як оксид алюмінію (Al₂O₃) чистотою ≥99,9%, нітрид кремнію (Si3N₄) чистотою ≥99,5%, оксид цирконію (ZrO₂) чистотою ≥99,8% і плавлений кремнезем (99,999%). Усі матеріали відповідають суворим стандартам чистоти напівпровідникової промисловості та відповідають вимогам до продуктивності для різних застосувань.

2. Виробничий процес

Виробничий процес охоплює точне лиття під тиском, високотемпературне спікання, точну обробку з ЧПУ, дзеркальне полірування, а також автоматизоване очищення та тестування. Кожен процес суворо контролюється на точність і якість, щоб гарантувати, що кінцевий продукт відповідає галузевим стандартам і вимогам клієнтів.

Основні параметри продукту

1. Точність розмірів

Конуси іонного променя мають допуски в межах ±0,05 мм, шорсткість поверхні Ra≤0,4 мкм, точність конусності внутрішнього отвору ±0,02 мм, коаксіальність ≤0,03 мм і перпендикулярність ≤0,02 мм. Ця надзвичайно висока точність розмірів ефективно забезпечує точність передачі іонного променя.

2. Обробка поверхні

Обробка поверхні включає механічне полірування для отримання дзеркального покриття, покриття УФ-відвердлення для покращення властивостей поверхні, стійке до подряпин покриття для покращення зносостійкості та травлення кислотою та пасивування для видалення домішок і покращення стабільності. Відповідні методи обробки можна вибрати на основі вимог застосування.

3. Показники ефективності

Іонно-променеві конуси працюють у діапазоні температур від -196 ℃ до +800 ℃, забезпечуючи стабільну роботу в умовах екстремальних температур. Вони мають питомий об’ємний опір ≥10¹⁴Ω·см і питомий поверхневий опір ≥10¹²Ω, демонструючи чудові ізоляційні властивості. Вони також мають виняткову стійкість до плазмової та хімічної корозії, що дозволяє їм адаптуватися до складних технологічних умов.

Основні переваги

1. Надвисока чистота: чистота сировини перевищує 99,9%, зводячи до мінімуму забруднення напівпровідникових пластин, забезпечуючи стабільні електричні характеристики пристроїв і відповідаючи суворим вимогам до чистоти при виробництві напівпровідників.

2. Надзвичайно висока геометрична точність: забезпечує постійні розміри продукту під час масового виробництва з похибкою конусності, що контролюється в межах ±0,05 мм, і похибкою круглості ≤0,02 мм, що точно відповідає вимогам встановлення та використання систем передачі іонного променя.

3. Дзеркальна якість поверхні: шорсткість поверхні Ra≤0,4 мкм, ефективно зменшує розсіювання іонного променя, покращує рівномірність передачі іонного променя та додатково оптимізує точність імплантації напівпровідникових пристроїв.

4. Стабільність у широкому діапазоні температур: стабільно працює в глибоких кріогенних та високотемпературних середовищах. Цей матеріал має надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення, зберігаючи відмінну стабільність розмірів навіть при зміні температури, запобігаючи впливу температурних коливань на продуктивність.

5. Відмінна ізоляція та стійкість до корозії: ефективно запобігає накопиченню заряду під час передачі іонного променя та протистоїть сильним кислотам, сильним лугам і різноманітній плазмовій корозії, забезпечуючи тривалу стабільну роботу в складних технологічних середовищах.

Індивідуальні послуги

Моделі та розміри продуктів можна налаштувати відповідно до різних вимог процесу. Підтримувані формати малюнків включають STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF і фізичні зразки. Щодо терміну доставки, доставка зразків становить 4-7 тижнів, а серійна доставка продукту - 8-12 тижнів. Наша система якості відповідає стандартам ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH і SEMI, комплексно забезпечуючи якість продукції та ефективність доставки.

Сфери застосування

Іонно-променеві конуси широко використовуються в багатьох галузях, включаючи іонні імплантатори у виробництві напівпровідників, обладнання для обробки плоских дисплеїв, системи іонно-променевого осадження (IBD) і іонно-променевого травлення (IBE) у виробництві оптичних пристроїв, виробництві мікроелектромеханічних систем (MEMS), обладнання для іонного легування для сонячних елементів і процеси іонної імплантації для силових напівпровідникових пристроїв, таких як біполярні транзистори з ізольованим затвором (IGBT) і силові MOSFET.

Часті запитання:

Q1: Які матеріали зазвичай використовуються в іонно-променевих конусах?

A1: Ми в основному використовуємо передові керамічні матеріали, такі як високочистий оксид алюмінію (Al₂O₃), нітрид кремнію (Si₃N₄) і оксид цирконію (ZrO₂). Ці матеріали мають надзвичайно високу чистоту, відмінну стійкість до високих температур і стабільні електричні властивості.

Q2: Чи може UET надати індивідуальні специфікації та обробку поверхні? 

A2: Так. UET може налаштувати розмір, конусність, тип матеріалу та обробку поверхні конусів відповідно до ваших вимог процесу. Ми маємо значний виробничий досвід і можемо задовольнити конкретні вимоги клієнтів.

Q3: Як гарантується точність і якість іонно-променевих конусів?

A3: Ми використовуємо систему управління якістю ISO9001:2015 і оснащені високоточним випробувальним обладнанням, включаючи координатно-вимірювальну машину, тестер шорсткості поверхні та рентгенівський флуоресцентний спектрометр, щоб гарантувати, що кожна партія продукції відповідає суворим галузевим стандартам.

Q4: Що таке цикл доставки?

A4: Цикл доставки зразків становить 4-7 тижнів, а цикл доставки продукту партії - 8-12 тижнів. Конкретний цикл залежить від складності продукту та кількості замовлення.